Cover: Micro Electro Mechanical System (E-Book) von Kamaljeet Singh
Kamaljeet Singh

Teil der Reihe: Mechanical Engineering (R0)

Micro Electro Mechanical System

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Inhaltsangabe

Role of contamination.- Wafer Criteria.- Micromachined Sensors: An overview.- Fabrication.- Thin film stress.- Micro devices: Planar Heater.- Critical aspects.

Produktdetails
  • Erscheinungsdatum: 21.07.2025
  • Autor/Autorin: Kamaljeet Singh,Ayan Karmakar
  • Reihe: Mechanical Engineering (R0)
  • Format: E-Book
  • Dateiformat: PDF
  • Kopierschutz: Wasserzeichen
  • Dateigröße: 8.8 MB
  • Verlag: SPRINGER
  • Sprache: Englisch
  • Umfang: 230 Seiten
  • ISBN: 9789819661626
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  • Kompatibilität: Lesbar auf Geräten und Apps mit PDF-Unterstützung.
Herstellerinformationen
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